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由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無摩擦、率、高精度、長壽命、低噪音、無油污等突出優(yōu)點(diǎn)，一旦實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，將成為能源、節(jié)能減排、真空機(jī)械等重大戰(zhàn)略領(lǐng)域的技術(shù)。 針對這一科技創(chuàng)新成果，在磁懸浮分子泵領(lǐng)域打破國外的技術(shù)壟斷，提高了國內(nèi)真空分子泵的技術(shù)水平，推動分子泵產(chǎn)品向應(yīng)用發(fā)展，同時也為磁懸浮軸承的工業(yè)化進(jìn)展開拓探索一條技術(shù)開發(fā)路線，為進(jìn)一步推廣磁懸浮軸承大規(guī)模應(yīng)用提供了實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為： ?。?)牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口，分子泵。 ?。?)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。分子泵牽引分子泵是氣體分子與高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得運(yùn)動的動能，被送到出口的一種動量傳輸泵。它的特點(diǎn)是起動時間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。
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許多設(shè)備在工作時都會產(chǎn)生磁場，比如，家用電冰箱的磁場強(qiáng)度約有10高斯（1mT），MRI（）的磁場強(qiáng)度甚至?xí)哌_(dá)3T；盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會有外漏的雜散磁場，對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。磁場對渦輪分子泵的可能影響當(dāng)渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子在磁場中旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，并導(dǎo)致電機(jī)的功率增大。
由于泵轉(zhuǎn)子不與定子接觸，渦生的熱量和額外的功率主要通過輻射消散。因此，轉(zhuǎn)子可能會過熱，即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認(rèn)磁場對分子泵工作的影響，德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院（）設(shè)計并執(zhí)行了下面的測試：測試條件和裝置被測分子泵的型號為TwisTorr304FSCFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑120厘米)來產(chǎn)生包圍整個泵的均勻磁場。
被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至1E-3mbar以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用20℃的冷卻水對分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會自動調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。
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分子泵轉(zhuǎn)速對氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度有什么影響？
今天，小編將向大家介紹分子泵轉(zhuǎn)速對氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度有什么影響，希望對大家有所幫助。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種泵。分子泵是獲得高和超高的關(guān)鍵設(shè)備之一。
它被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門。它操作簡單、啟動時間短,在分子流區(qū)域內(nèi)對各種氣體的有效抽速幾乎不變,對分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無油的高和超高環(huán)境。
分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高重要部位,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數(shù)的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。逆擴(kuò)散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高泵與低泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過這個壓力,將使高泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過50Pa,遠(yuǎn)達(dá)不到高壓檢漏的要求。
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